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| 항목 |
설명 |
| 특징 |
반도체산업,석유화학,금속공업등의 실험, 연구및생산용으로 사용되는
순수가스는 용기내면처리,세척정제설비 및 정밀분석으로 제조 됨 |
| 용도 |
각종분석기, 반도체산업, 금속의 분광분석기, 전구봉입용, 석유화학 |
| 종류 |
O2:99.995%, H2:99,9999%, N2:99.9999%, He:99.9999%, Ar:99.9999%,
CO2:99.999% |
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| 항목 |
설명 |
| 특징 |
반도체 제조 및 연구용으로 사용되는 특수가스는 종류가다양하고 독성이며 초고순도가 요구됨 |
| 용도 |
반도체 제조, 반도체 제조연구 |
| 종류 |
SiH4, SiH2Cl2, Si2H6 , AsH3, B2H6, Cl2, BCl3, BF3, PH3, WF6, N2O, NH3, CF4,
CO, C3F8, C4F8, HCl, SiCl4, SF6, NF3, CH4, KR, NE, XE, AIR |
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| 항목 |
설명 |
| 특징 |
각종 분석기의 보정, 공정관리 및 품질관리용으로 사용되는 표준가스는
미량성분의 혼합과 분석의 정밀도가 가장 중요 |
| 용도 |
반도체 제조, 반도체 제조연구 각종 분석기용 표준가스, 대기오염측정,
자동차배기가스측정, 연소실험, 석유화학제조공정감시용 분석기 |
| 종류 |
CO-CO2-N2, CO-O2-N2, C3H8-N2, He-H2, C3H8-N2-02, H2-N2, H2-Ar,
C2H4-N2, H2S-N2, CH4-Ar, Others |
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| 항목 |
설명 |
| 특징 |
레이져,식품,용접,조명,해저탐사등 각 산업분야에서 다양하게 사용되는
혼합가스는 필요한 농도로 혼합된 2가지 이상의 고순도 가스로 이루어짐 |
| 용도 |
각 레이져 발진, 특수용접, 의료, 식품포장, 조명, 호흠, 방사능측정 |
| 종류 |
He-N2-CO2, CH5-N2-H2, N2-CO-CO2, He-N2-CO2-CO, H2-N2, O2-CO2-N2, He-Ar, NO-N2, CH4-Ar, Others |
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| 항목 |
설명 |
| 특징 |
다음과 같은 다양한 분야에도 특수가스를 공급 |
| 용도 |
각 전기전연용, 연소요,연소기기시험요, 금속열처리용, 화학제품연료,
제약합성, 특수전구, 기타 등 |
| 종류 |
He-N2-CO2, CH4-N2-H2, N2-CO-CO2, He-N2-CO2-CO, H2-N2,
O2-CO2-N2, He-Ar, NO-N2, CH4-Ar, Others |
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